助力第三代半導體可靠性 | 廣電計量出席2022白石山第三代半導體峰會

文：第三代半導體産(chǎn)業技術創(chuàng)新戰略聯盟、馬雲飛

圖：第三代半導體産(chǎn)業技術創(chuàng)新戰略聯盟

 2022年8月6日，由保定市人民政府、河北省科學技術協會、河北省發展和改革委員會、河北省工業和信息化廳、河北省科學技術廳、第三代半導體産(chǎn)業技術創新戰略聯盟聯合主辦(bàn)，保定國家高新區管委會、保定市科學技術協會、保定市發展和改革委員會
、保定市工業和信息化局、保定市科學技術局、涞源縣人民政府承辦(bàn)的2022白石山第三代半導體峰會在河北涞源順利召開。

中國院士、中國副院長(zhǎng)、中國大學黨(dǎng)委書記、校長(zhǎng)李樹深，中國(guó)院士、北京大學(xué)教授甘子钊，中國(guó)工程院院士、清華(huá)大學教授羅毅等院士專家；河北省政府黨(dǎng)組成員、副省長(zhǎng)胡啓生的省直部門及央企；中國國電(diàn)集團公司原副總經理、黨(dǎng)組成員張成傑, 國家新材料産(chǎn)業發展專家咨詢委員會委員、第三代半導體産(chǎn)業技術創新戰略聯盟理事長(zhǎng)吳玲,北京大學理學部副主任、寬禁帶(dài)半導體研究中心主任、CASA副理事長(zhǎng)沈波, CASA副理事長(zhǎng)兼秘書長(zhǎng)、中科院半導(dǎo)體所原副所長(zhǎng)楊富華，以及其他來自相關(guān)政府部門、科研院校、企業的與技術專家通過(guò)線上、線下的方式參(cān)與瞭(le)開幕式
。

保定市委副書記、市政府市長闫繼紅主持峰會開幕式。廣電計量作爲第三代半導體檢測領域的重要參(cān)與者，受邀參(cān)與此次活動並(bìng)做主題演講。

技術專家與嘉賓發言

白石山第三代半導(dǎo)體峰會始於(yú)2021年，是由保定市人民政府和第三代半導體産(chǎn)業技術創(chuàng)新戰略聯盟共同發起、在保定涞源打造的峰會，爲政府、專家學者、企業搭建瞭共商第三代半導(dǎo)體技術應用、投資以及發展相關問題的高層(céng)對話平台。本次會議以“同‘芯’共赢"爲主題，瞄準國家重大戰略需求及産(chǎn)業鏈需求，結合推進碳中和及發展新興産(chǎn)業的要求，探讨第三代半導(dǎo)體技術與應用。

廣電計量在第三代半導體領域構築瞭(le)較爲全面的檢測能力，具備(bèi)豐富的檢測經驗。作爲第三方檢測機構代表，廣電計量元器件篩選與失效分析中心總監、第三代半導體技術副總監李汝冠博士向與會嘉賓做《第三代半導體功率器件檢測(cè)技術發展》報(bào)告，詳細闡述瞭Si基器件标準應用於(yú)第三代半導體檢測(cè)情況以及第三代半導體器件檢測(cè)新需求。他指出，第三代半導體優勢明顯、應用廣泛，是半導體行業發展的核心方向，如何應用新的方式對第三代半導體進行質量及可靠性的評估與準確(què)測(cè)量，是未來第三方檢測(cè)行業的重要機(jī)遇和挑戰。

基於(yú)廣電計量豐富的第三代半導體器件檢測(cè)經驗，李汝冠提出基於(yú)傳統半導體的檢測(cè)技術及檢測(cè)标準（如AEC-Q101）進行直接應用，以暴露第三代半導(dǎo)體器件的薄弱環(huán)節；並依據第三代半導(dǎo)體的特殊性，引入針對第三代半導(dǎo)體器件的測(cè)試方法，如SiC MOS的栅極氧化層(céng)可靠性測(cè)試、偏壓溫度不穩定性測(cè)試、體二極管雙極性退化測(cè)試、阈值電壓測(cè)試、GaN HEMT的動态導(dǎo)通電阻測(cè)試等方法。同時，針對第三代半導(dǎo)體器件的測(cè)試方法，需增加動态應力試驗，以觸發在遵循标準的靜态試驗中觀察不到的失效機制，爲第三代半導體企業的可靠性檢測(cè)提供瞭(le)重要的思路建議。

廣電(diàn)計量技術專家做主題報(bào)告

北京大學東莞光電研究院院長(zhǎng)、北大寬禁帶(dài)半導體研究中心原主任張國義，中國半導體所黨委副書記、書記樊志軍，中國半導體研究所副所長張韻，國家第三代半導體技術創新主任張魯川，國基北方總經理、十三所常務副所長崔玉新，火炬中心高新技術産業發展處副處長陳彥等專家代表也參與瞭此次活動。51萬餘人次在線觀(guān)看瞭(le)峰會直播。

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第三代半導(dǎo)體在新基建七大領域都有其廣(guǎng)泛的應用前景。黨(dǎng)、高度重視第三代半導(dǎo)體發展，将其列入國家重點規劃和科技專項支持。而檢測(cè)是提高半導(dǎo)體器件質量與可靠性的重要保障。廣電計量作爲國有第三方檢測(cè)機構，在我國第三代半導體發展過程中，秉承國企擔當，在光電子、電力電子、微波射頻等第三代半導體三大應用領域構築瞭(le)較爲全面的檢測(cè)能力。

公司在第三代半導體檢測領域（SiC、GaN）合作客戶(hù)20餘家，檢測(cè)樣品數量百批次、數量數萬隻。其中在光電子檢測(cè)領域合作客戶數十家，涉及型号近百個；在電力電子領域，覆蓋瞭(le)現行所有可靠性測(cè)試标準，單在SiC領域合作客戶十餘家，是國内SiC檢測度廣、技術能力的第三方檢測機構之一；在微波射頻(pín)領(lǐng)域，助力完成車規标準的微波射頻的測試，並向更高頻率、更高功率領域布局。